質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過(guò)毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應氣流瞬時(shí)流量， 所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質(zhì)量流量計的用途

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1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制；

5. 水廠(chǎng)氣質(zhì)量流量控制；

6. 生產(chǎn)半導體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測量；

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量；

8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測；

9. 空調系統控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質(zhì)量流量測量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監測

13. 氣體分配系統

14. 實(shí)驗室氣體測量

15. 醫學(xué)應用

16. 燃料電池

17. 應用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。

質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個(gè)因變量，而流體的質(zhì)量是一個(gè)不隨時(shí)間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質(zhì)量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過(guò)程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟核算和貿易交接等活動(dòng)中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿(mǎn)足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過(guò)修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質(zhì)量。這種測量方法，中間環(huán)節多，質(zhì)量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著(zhù)現代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，相繼出現了一些直接測量質(zhì)量流量的計量方法和裝置，從而推動(dòng)了流量測量技術(shù)的進(jìn)步。

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MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě)，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉的管內流動(dòng)時(shí)會(huì )對管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時(shí)發(fā)現的，簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動(dòng)線(xiàn)圈，兩端裝有拾振線(xiàn)圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動(dòng)線(xiàn)圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復周期振動(dòng)，工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì )在振管上產(chǎn)生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線(xiàn)圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個(gè)信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。